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低温冷却液循环泵内外循环及应用简介

Admin发布于 关键词:低温冷却液循环泵
低温冷却液循环泵的循环简介:
内循环:通过泵对槽内液体介质的循环吞吐,增加槽内温度的均匀性,减少温度波动。外循环:通过泵的循环能力,利用出水口,将保温软管与外部设备连接,形成封闭回路,流回设备进水口,是将槽内恒温介质外引,建立外部恒温场
低温冷却液循环泵应用范围:
对半导体制造装置发热部的冷却:单晶片洗净转载,印刷机,自动夹座安装装置,喷涂装置,离子镀装置,蚀刻装置,单晶片处理装置,切片机,包装机,显影剂的温度管理,露光装置,生磁部分的加热装置等。
对激光装置发热部分的冷却:激光加工,熔接机的发热部分,激光标志装置,发生装置,二氧化碳激光加工机等。
其他产业用机器发热部分的冷却:等离子熔接,自动包装机,模具冷却,洗净机械,镀金槽,精密研磨机,射出成型机,树脂成型机的成型部分等。
分析检测机器的发热部分的冷却:电子显微镜的光源,ICP发光分光分析装置的光源部分,分光光度计的发热部分,X线解析装置的热源,自动脉冲调幅器的发热部分原子吸光光度计的光源等。水箱可用优质的纯净水在机内外循环冷却,可保证对水质要求较高精密仪器的正常运行,延长精密仪器的使用寿命。